AFM探针一览-由研发领导者NANOSENSORS™制作的

uniqprobe™ AFM探针

力常数和共振频率的微小变化；
由无应力材料制成的悬臂梁导致绝对笔直的悬臂梁；
典型的探针曲率半径优于10nm；
减少漂移，用于液体环境中的SPM应用；
化学惰性；
高机械Q系数可实现高灵敏度。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	qp-CONT	YES	接触模式, 生物应用 / 柔性接触测量, 液体轻敲 / AC 模式	0.1	30
接触模式	qp-SCONT	YES	柔性接触模式, 生物应用 / 柔性接触测量, 横向/摩擦力显微镜, 液体轻敲 / AC 模式	0.01	11
非接触	qp-BioT 2 悬臂梁	YES	生物应用 / 柔性接触测量, 液体轻敲/ AC 模式	CB1: 0.3 CB2: 0.08	CB1: 50 CB2: 20
	qp-BioAC 3 悬臂梁	YES	生物应用 / 柔性接触测量, 液体轻敲 / AC 模式	CB1: 0.3 CB2: 0.1 CB3: 0.06	CB1: 90 CB2: 50 CB3: 30
	qp-BioAC-CI 3 悬臂梁	YES	活细胞成像的特殊探针形状生物应用 / 柔性接触测量, 液体轻敲 / AC 模式	CB1: 0.3 CB2: 0.1 CB3: 0.06	CB1: 90 CB2: 50 CB3: 30
特殊	qp-fast 3 悬臂梁	YES	快速 / 高速度扫描, 标准轻敲 / 非接触 / AC 模式, 柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式	CB1: 80 CB2: 30 CB3: 15	CB1: 800 CB2: 420 CB3: 250
特殊	qp-HBC	YES	Scan Asyst®* Peak Force Tapping®	0.5	60

硅化铂 AFM探针

有出色的导电性和良好的磨损性能的硅化铂探针；
典型探针半径25nm；
硅支架芯片背面的对准槽。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	PtSi-CONT	YES	静电力调制显微镜/电气测量, 使用寿命长/硬化AC AFM探针	0.2	13
非接触	PtSi-NCH	YES	静电力调制显微镜/电气测量, 使用寿命长/硬化AC AFM探针	42	330
特殊	PtSi-FM	YES	静电力调制显微镜/电气测量, 使用寿命长/硬化AC AFM探针	2.8	75

AdvancedTEC™ AFM探针

单片硅-AFM-探针，用于超高分辨率成像；
适合所有知名的AFM探针；
高掺杂单晶硅（0.01-0.025Ohm*cm）；
长方形横截面的矩形悬臂梁；
支架尺寸为1.6mm x 3.4mm；
从顶部往下看的证实探针能见度；
探针高度为15-20µm；
典型探针曲率半径为 < 10nm；
探针最后1.5µm的深宽比> 4：1（从正面和侧面）；
探针形状由真实的晶面定义，从而产生高度可复制的几何形状和极其光滑的表面；
也可提供金或铂铱涂层。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	ATEC-CONT	YES	接触模式	0.2	15
	ATEC-CONTAu	YES	生物应用 / 柔性接触测量, 静电力调制显微镜/电气测量	0.2	15
	ATEC-CONTPt	YES	静电力调制显微镜/电气测量	0.2	15
非接触	ATEC-NC	YES	轻敲 / 非接触 / AC 模式	45	335
	ATEC-NCAu	YES	生物应用, 静电力调制显微镜/电气测量	45	335
	ATEC-NCPt	YES	静电力调制显微镜/电气测量	45	335
特殊	ATEC-FM	YES	力调制模式	2.8	85
	ATEC-FMAu	YES	静电力调制显微镜/电气测量, 生物应用	2.8	85
	ATEC-EFM	YES	静电力调制显微镜/电气测量	2.8	85

PointProbe® 系列测试

PointProbe®Plus AFM探针

单片硅AFM探针，用于超高分辨率成像；
适合所有知名的AFM探针；
高掺杂单晶硅（0.01-0.025Ohm*cm）；
长方形横截面的矩形悬臂梁；
支架尺寸为1.6mm x 3.4mm；
探针半径通常优于7nm；
改善的一致性和分辨率；
探针形状变化最小。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	PPP-CONT	YES	接触模式	0.2	13
	PPP-CONTR	YES	接触模式	0.2	13
	PPP-CONTSC	YES	接触模式（短悬臂梁）	0.2	25
	PPP-CONTSCR	YES	接触模式（短悬臂梁）	0.2	25
	PPP-XYCONTR	YES	接触模式与XY-对准兼容	0.2	13
	PPP-ZEILR	YES	接触模式 (用于Seiko或Zeiss Veritect产品)	1.6	27
非接触	PPP-NCH	YES	非接触/AC/轻敲模式, 真空AFM探针	42	330
	PPP-NCHR	YES	非接触/AC/轻敲模式, 真空AFM探针	42	330
	PPP-NCL	YES	非接触/AC/轻敲模式, 真空AFM探针（长悬臂梁）	48	190
	PPP-NCLR	YES	非接触/AC/轻敲模式, 真空AFM探针（长悬臂梁）	48	190
	PPP-NCST	YES	柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式	7.4	160
	PPP-NCSTR	YES	柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式	7.4	160
	PPP-QNCHR	YES	非接触 /AC/轻敲模式, 真空AFM探针（高频、高品质因数）	42	330
	PPP-SEIHR	YES	柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式（用于Seiko或Zeiss Veritect产品）	15	130
	PPP-XYNCHR	YES	非接触 /AC/轻敲模式, 真空AFM探针与XY-对准兼容	42	330
	PPP-XYNCSTR	YES	柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式, 与XY-对准兼容	7.4	160
特殊	PPP-FM	YES	力调制模式, 柔性轻敲 / 非接触 / AC模式, 真空AFM探针	2.8	75
	PPP-FMR	YES	力调制模式, 柔性轻敲 / 非接触 / AC模式, 真空AFM探针	2.8	75
	PPP-LFMR	YES	接触模式 , 横向/摩擦力显微镜 (LFM)	0.2	23
	PPP-QFMR	YES	力调制模式, 真空AFM探针（高品质因数）	2.8	75

XY-对准的PointProbe® Plus AFM探针

与对准芯片一起使用时，可以更换三种不同悬臂长度的探针（例如PPP-NCHR; PPP-XYCONTR和PPP-FMR）而无需重新调整光束偏转激光器；
单片硅AFM探针，用于超高分辨率成像；
适合所有的知名AFM探针；
高掺杂单晶硅（0.01-0.025Ohm*cm）；
长方形横截面的矩形悬臂梁；
探针半径通常优于7nm；
改善的一致性和分辨率；
探针形状变化最小。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	PPP-CONTSC	YES	接触模式（短悬臂梁）	0.2	25
	PPP-CONTSCR	YES	接触模式（短悬臂梁）	0.2	25
	PPP-CONTSCAuD	YES	接触模式, 生物用于 / 柔性接触测量（短悬臂梁）	0.2	25
	PPP-XYCONTR	YES	接触模式, 与XY-对准兼容	0.2	13
非接触	PPP-NCL	YES	非接触/AC/轻敲模式, 真空AFM探针（长悬臂梁）	48	190
	PPP-NCLR	YES	非接触/AC/轻敲模式, 真空AFM探针（长悬臂梁）	48	190
	PPP-NCLAuD	YES	非接触/AC/轻敲模式, 生物用于 / 柔性接触测量, （长悬臂梁）	48	190
	PPP-SEIHR	YES	柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式（用于Seiko或Zeiss Veritect产品）	15	130
	PPP-XYNCHR	YES	非接触/AC/轻敲模式, 真空AFM探针, 与XY-对准兼容	42	330
	PPP-XYNCSTR	YES	柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式, 与XY-对准兼容	7.4	160
特殊	PPP-FM	YES	力调制模式, 柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式, 真空 AFM 探针	2.8	75
	PPP-FMR	YES	力调制模式, 柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式, 真空 AFM 探针	2.8	75
	PPP-FMAuD	YES	力调制模式, 柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式, 生物用于	2.8	75
	PPP-LFMR	YES	接触模式 , 横向/摩擦力显微镜（LFM）	0.2	23
	PPP-QFMR	YES	力调制模式, 真空 AFM 探针（高品质因数）	2.8	75

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
非接触	SSS-NCL	YES	增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC AFM 探针（长悬臂梁）	48	190
	SSS-NCLR	YES	增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC AFM 探针（长悬臂梁）	48	190
	SSS-SEIH	YES	增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC AFM 探针（用于Seiko或Zeiss Veritect产品）	15	130
	SSS-SEIHR	YES	增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC AFM 探针（用于Seiko或Zeiss Veritect产品）	15	130
特殊	SSS-FM	YES	增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC AFM 探针	2.8	75
特殊	SSS-FMR	YES	增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC AFM 探针	2.8	75

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
非接触	AR5-NCLR	YES	沟槽测量（长悬臂梁）	48	190

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	PPP-CONTSCAu	YES	生物应用 / 柔性接触测量, 静电力调制显微镜/电气测量 (短悬臂梁)	0.2	25
接触模式	PPP-CONTSCPt	YES	静电力调制显微镜/电气测量 (短悬臂梁)	0.2	25
非接触	CDT-NCLR	YES	静电力调制显微镜/电气测量 (长悬臂梁)	72	210
	DT-NCLR	YES	使用寿命长/硬化AC AFM探针，纳米压痕（长悬臂）	72	210
	PPP-NCLAu	YES	生物应用, 静电力调制显微镜/电气测量 (长悬臂梁)	48	190
	PPP-NCLPt	YES	静电力调制显微镜/电气测量 (长悬臂梁)	48	190
特殊	CDT-FMR	YES	静电力调制显微镜/电气测量	6.2	105
	DT-FMR	YES	使用寿命长 / 硬化 AC AFM 探针, 纳米压痕	6.2	105
	PPP-FMAu	YES	生物应用, 静电力调制显微镜/电气测量	2.8	75
	PPP-EFM	YES	静电力调制显微镜/电气测量	2.8	75
	PPP-MFMR	YES	磁性力调制显微镜	2.8	75
	PPP-LC-MFMR	YES	磁性力调制显微镜（低矫顽力）	2.8	75
	PPP-LM-MFMR	YES	磁性力调制显微镜 (低力矩)	2.8	75
	PPP-QLC-MFMR	YES	磁性力调制显微镜（低矫顽力，高品质因数）	2.8	75
	SSS-MFMR	YES	磁性力调制显微镜 (高分辨率)	2.8	75
	SSS-QMFMR	YES	磁性力调制显微镜 (高分辨率，高品质因数)	2.8	75

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
非接触	TL-NCL	YES	无探针悬臂梁用于探针改造（长悬臂梁）	48	190
特殊	TL-FM	YES	无探针悬臂梁用于探针改造	2.8	75

SuperSharpSilicon™ AFM探针

用于提高微观粗糙度和纳米结构的分辨率；
探针半径通常优于2nm；

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
非接触	SSS-NCH	YES	增强分辨率轻敲/ 非接触 / AC模式（高频）	42	330
	SSS-NCHR	YES	增强分辨率轻敲/ 非接触 / AC模式（高频）	42	330
	SSS-NCL	YES	增强分辨率轻敲/ 非接触 / AC模式（长悬臂梁）	48	190
	SSS-NCLR	YES	增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC 模式（长悬臂梁）	48	190
	SSS-SEIH	YES	增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC 模式 (用于Seiko或Zeiss Veritect产品)	15	130
	SSS-SEIHR	YES	增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC 模式 (用于Seiko或Zeiss Veritect产品)	15	130
特殊	SSS-FM	YES	增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC 模式	2.8	75
	SSS-FMR	YES	增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC 模式	2.8	75
	SSS-MFMR	YES	磁性力调制显微镜（高分辨率）	2.8	75
	SSS-QMFMR	YES	磁性力调制显微镜（高分辨率、高品质因数）	2.8	75

高深宽比探针AFM探针

探针的高宽比部分的长度分别大于1.5µm或2µm；
我们可以提供特殊探针以补偿扫描仪头的倾斜；
探针的半径通常优于10nm。我们保证最小 15nm；
探针总高度为10到15µm，可以对高度波纹的样品进行测量；
整个探针以及传感器的其余部分均由一种单晶硅制成（整体设计），从而实现了较高的横向刚度和刚度。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
非接触	AR10-NCHR	YES	沟槽测量（高频）	42	330
	AR10T-NCHR	YES	沟槽测量（倾斜补偿、高频）	42	330
	AR5-NCH	YES	沟槽测量（高频）	42	330
	AR5-NCHR	YES	沟槽测量（高频）	42	330
	AR5-NCLR	YES	沟槽测量（长悬臂梁）	48	190
	AR5T-NCHR	YES	沟槽测量（倾斜补偿、高频）	42	330

旋转探针AFM探针

常规数据类似于PointProbe® Plus；
探针沿悬臂梁相对于中心轴旋转180°。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	PPP-RT-CONTR	YES	接触模式	0.2	13
非接触	PPP-RT-NCHR	YES	轻敲 / 非接触 / AC 模式（高频）	42	330
特殊	PPP-RT-FMR	YES	力调制模式	2.8	75

无探针悬臂梁AFM探针

无探针；
高度掺杂以消除静电荷；
化学惰性；
高机械Q因数可实现高灵敏度。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	TL-CONT	YES	无探针悬臂梁用于探针改造	0.2	13
非接触	TL-NCH	YES	无探针悬臂梁用于探针改造（高频）	42	330
非接触	TL-NCL	YES	无探针悬臂梁用于探针改造（长悬臂梁）	48	190
特殊	TL-FM	YES	无探针悬臂梁用于探针改造	2.8	75

圆台形探针AFM探针

移到NANOSENSORS™的特殊研发的产品列表

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]

带涂层AFM探针

金涂层AFM探针

悬臂梁的探测器侧有70nm厚的金涂层；
悬臂两侧的金涂层厚度均为70nm；
探针的金属导电性；
探测器侧面涂层可增强激光束的反射率。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	ATEC-CONTAu	YES	生物应用 / 柔性接触测量, 静电力调制显微镜/电气测量	0.2	15
非接触	ATEC-NCAu	YES	生物应用, 静电力调制显微镜/电气测量	45	335
特殊	ATEC-FMAu	YES	静电力调制显微镜/电气测量, 生物应用	2.8	85

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	PPP-CONTAu	YES	接触模式, 生物应用/ 柔性接触测量, 静电力调制显微镜/电气测量	0.2	13
	PPP-CONTAuD	YES	接触模式, 生物应用 / 柔性接触测量	0.2	13
	PPP-CONTSCAu	YES	接触模式, 生物应用/ 柔性接触测量, 静电力调制显微镜/电气测量 (短悬臂梁)	0.2	25
	PPP-CONTSCAuD	YES	接触模式, 生物应用 / 柔性接触测量 (短悬臂梁)	0.2	25
非接触	PPP-NCHAu	YES	生物应用, 静电力调制显微镜/电气测量（高频）	42	330
	PPP-NCHAuD	YES	轻敲/ 非接触 / AC 模式, 生物应用（高频）	42	330
	PPP-NCLAu	YES	生物应用, 静电力调制显微镜/电气测量（长悬臂梁）	48	190
	PPP-NCLAuD	YES	轻敲 / 非接触 / AC 模式, 生物应用（长悬臂梁）	48	190
	PPP-NCSTAu	YES	生物应用, 静电力调制显微镜/电气测量	7.4	160
	PPP-NCSTAuD	YES	柔性轻敲 / 非接触 / AC模式, 生物应用	7.4	160
特殊	PPP-FMAu	YES	生物应用, 静电力调制显微镜/电气测量	2.8	75
特殊	PPP-FMAuD	YES	力调制模式, 生物应用	2.8	75

金刚石涂层AFM探针

探针侧有100 nm厚的多晶金刚石涂层；
探针侧200纳米厚的多晶金刚石涂层；
探针无与伦比的硬度。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	CDT-CONTR	YES	静电力调制显微镜/电气测量	0.5	20
接触模式	DT-CONTR	YES	使用寿命长 / 硬化AC AFM 探针, 纳米压痕	0.5	20
非接触	CDT-NCHR	YES	静电力调制显微镜/电气测量（高频）	80	400
	DT-NCHR	YES	使用寿命长 / 硬化AC AFM 探针, 纳米压痕（高频）	80	400
	CDT-NCLR	YES	静电力调制显微镜/电气测量（长悬臂梁）	72	210
	DT-NCLR	YES	使用寿命长/ 硬化 AC AFM探针, 纳米压痕（长悬臂梁）	72	210
特殊	CDT-FMR	YES	静电力调制显微镜/电气测量	6.2	105
特殊	DT-FMR	YES	使用寿命长/ 硬化 AC AFM探针, 纳米压痕	6.2	105

铂铱涂层AFM探针

25nm厚的铬和铂铱层；
悬臂梁两侧的涂层；
允许进行电气测量；
探测器侧面涂层可将激光束的反射率提高2倍；
应力补偿且耐磨。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	ATEC-CONTPt	YES	静电力调制显微镜/电气测量	0.2	15
非接触	ATEC-NCPt	YES	静电力调制显微镜/电气测量	45	335
特殊	ATEC-EFM	YES	静电力调制显微镜/电气测量	2.8	85

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	PPP-CONTPt	YES	静电力调制显微镜/电气测量	0.2	13
接触模式	PPP-CONTSCPt	YES	静电力调制显微镜/电气测量（短悬臂梁）	0.2	25
非接触	PPP-NCHPt	YES	静电力调制显微镜/电气测量（高频）	42	330
	PPP-NCLPt	YES	静电力调制显微镜/电气测量（长悬臂梁）	48	190
	PPP-NCSTPt	YES	静电力调制显微镜/电气测量	7.4	160
特殊	PPP-EFM	YES	静电力调制显微镜/电气测量	2.8	75

磁性涂层AFM探针

探针侧的硬磁性涂层（矫顽力在0.75和300Oe之间，剩磁在80和300emu /cm³之间）；
2.5至13emu之间的有效磁矩；
金属导电率；
保证最低的探针曲率半径，低至<15nm；
最高的磁分辨率优于25nm；
悬臂梁的检测器一侧的铝涂层将激光束的反射率提高了约2.5倍。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
特殊	PPP-MFMR	YES	磁力显微镜	2.8	75
	PPP-LC-MFMR	YES	磁力显微镜（低矫顽力）	2.8	75
	PPP-LM-MFMR	YES	磁力显微镜（低力矩）	2.8	75
	PPP-QLC-MFMR	YES	磁力显微镜（低矫顽力、高品质因数）	2.8	75
	SSS-MFMR	YES	磁力显微镜（高分辨率）	2.8	75
	SSS-QMFMR	YES	磁力显微镜（高分辨率、高品质因数）	2.8	75

自感应-自激励AFM探针

Akiyama探针基于石英音叉和微机械悬臂相结合。这种新颖的探针的最大优点是，使用一根探针，既可以受益于音叉的极其稳定的振荡，又可以受益于硅悬臂的合理弹簧常数。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
特殊	Akiyama-Probe	YES	自我感应+自我激励	5	45

特别开发的产品列表

我们特别开发的产品例子有：

定制直径的圆台形探针；
圆形探针；
球形探针；
在各种探针类型上具有不同厚度的铂铱或金涂层；
背面金和探针侧面的氮化物涂层。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]
接触模式	特殊研发的产品列表 - Special Developments List	NO

计量标准

NANOSENSORS™ 与欧洲国家计量研究所（NMI）合作开发了一套SPM应用程序的物理传输标准。这些标准允许对SPM设备的X，Y和Z轴进行校准。另外，可以揭示和补偿某些系统引起的设备限制。

间距为200 nm的二维标准类型: 2D200
德国物理技术联合会（PTB），英国国家物理实验室（NPL）和丹麦基础计量研究所（DFM）不仅参与了产品定义阶段。他们的主要任务是开发用于校准传输标准的测量技术。这些机构确保可追溯到国家标准。通过欧洲国家计量学会协会（EUROMET）和国际度量衡局的条约（Metre Convention），可以追溯到其他全球计量标准。

	类型	反射涂层	应用	力常数 [N/m]	共振频率 [kHz]

Nanosensors logo

AFM探针一览

按产品系列选择的产品

特殊研发的产品列表

uniqprobe™ AFM探针

uniqprobe™ AFM探针

硅化铂 AFM探针

硅化铂 AFM探针

AdvancedTEC™ AFM探针

AdvancedTEC™ AFM探针

PointProbe® 系列测试

PointProbe®Plus AFM探针

XY-对准的PointProbe® Plus AFM探针

SuperSharpSilicon™ AFM探针

高深宽比探针AFM探针

旋转探针AFM探针

无探针悬臂梁AFM探针

圆台形探针AFM探针

圆台形探针AFM探针

带涂层AFM探针

金涂层AFM探针

金刚石涂层AFM探针

铂铱涂层AFM探针

磁性涂层AFM探针

自感应-自激励AFM探针

自感应-自激励AFM探针

特别开发的产品列表

特别开发的产品列表

计量标准

计量标准