PointProbe® Plus Electrostatic Force Microscopy - PtIr5 Coating
PointProbe®Plus(PPP)结合了经过验证的PointProbe®系列的众所周知的功能,例如,具有高应用多功能性以及与大多数商业SPM的兼容性,并具有更可重复的探针半径和更明确的探针形状。探针形状的最小变化提供了更可重复的图像。
PPP-EFM探针用于静电力显微镜检查。悬臂梁两侧的整体金属涂层(铂铱5)可增加探针的电导率。这种类型的力常数是专门为静电力显微镜量身定制的,可产生很高的力灵敏度,同时可实现轻敲模式和提升模式操作。
此探针具有独特的功能:
- 探针的金属导电性
- 曲率半径优于25nm
- 探针高度为10-15µm
- 高机械Q-因数可实现高灵敏度
- 硅保持器芯片背面的对准槽
- 与对准芯片一起使用时,可精确地对悬臂位置进行对准(+/-2µm以内)
- 与 PointProbe® Plus XY-对准系列
请注意:
- 如果以接触,摩擦或力调制模式进行操作,则可能会出现探针磨损。
- 尽管这是可行的,但在需要传导大电流的应用中,建议不要使用铂铱5涂层的探针进行电接触。 铂铱5非常薄的涂层无法支持大电流。
铂铱5涂层是在悬臂梁两侧的约25nm厚的铬和铂铱5双层。探针侧面涂层增强了探针的导电性并允许电接触。检测器侧涂层将激光束的反射率提高了约2倍,并防止了光在悬臂梁内的干涉。涂层工艺针对应力补偿和耐磨性进行了优化。由于应力导致的悬臂梁弯曲小于悬臂梁长度的3.5%。