High Aspect Ratio (> 5:1) - Non-Contact/Tapping Mode - High Resonance Frequency
NANOSENSORS™ AR5-NCH AFM探针设计用于非接触式或轻敲式AFM。这种探针兼具高操作稳定性、出色的灵敏度和快速的扫描能力。
为了测量侧壁角接近90°的样品,NANOSENSORS™可提供专门定制的探针。这些探针经过FIB(聚焦离子束)铣削,以在普通硅探针的末端获得优于5: 1的高深宽比。这种生产高深宽比的针的相减方法具有高横向刚度和探针刚度的优点。
此探针具有独特功能:
- 探针的高深宽比部分的长度> 2µm
- 2µm处的深宽比通常为7:1(从侧面以及沿悬臂轴方向观察时)
- 高深宽比部分的2µm处的半锥角通常<5
- 保证探针的曲率半径<15nm
- 整体式探针
- 高掺杂硅以消除静电荷
- 高机械Q-因数可实现高灵敏度