AR5-NCHR

High Aspect Ratio (> 5:1) - Non-Contact / Tapping Mode - High Resonance Frequency - Reflex Coating

 

NANOSENSORS™ AR5-NCHR AFM探针设计用于非接触式或轻敲式AFM。这种探针兼具高操作稳定性、出色的灵敏度和快速的扫描能力。

为了测量侧壁角接近90°的样品,NANOSENSORS™可提供专门定制的探针。这些探针经过FIB(聚焦离子束)铣削,以在普通硅探针的末端获得优于5:1的高深宽比。这种生产高深宽比的针的相减方法具有高横向刚度和探针刚度的优点。


此探针具有独特的功能:

  • 探针的高深宽比部分的长度> 2µm
  • 2µm处的深宽比通常为7:1(从侧面以及沿悬臂轴方向观察时)
  • 高深宽比部分的2µm处的半锥角通常<5°
  • 保证探针的曲率半径<15nm
  • 高掺杂硅以消除静电荷
  • 高机械Q-因数可实现高灵敏度

反射涂层是在悬臂梁的检测器侧的大约30nm厚的铝涂层,可将激光束的反射率提高约2.5倍。此外,它防止了光在悬臂梁内部的干涉。由于涂层几乎没有应力,因此由于应力而导致的悬臂梁弯曲小于悬臂长度的2%。

 

如何优化AFM扫描参数: list-img
悬臂梁数据:
属性 标称值 特定的范围
共振频率 [kHz] 330 204 - 497
力常数 [N / m] 42 10 - 130
长度 [µm] 125 115 - 135
平均宽度 [µm] 30 30 - 45
厚度 [µm] 4 3 - 5
订单代码和运输单位:
订购代码 每包AFM探针的数量 数据表
AR5-NCHR-10 10 of all probes
AR5-NCHR-20 20 of all probes
AR5-NCHR-50 50
AR5-NCHR-W 370
NANOSENSORS™ High Aspect Ratio Silicon AFM probes