uniqprobe™

uniqprobe™
uniqprobe™
  • 力常数和共振频率的微小变化;
  • 由无应力材料制成的悬臂梁导致绝对笔直的悬臂梁;
  • 典型的探针曲率半径优于10nm;
  • 减少漂移,用于液体环境中的SPM应用;
  • 化学惰性;
  • 高机械Q系数可实现高灵敏度。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 qp-CONT
YES 接触模式,
生物应用 / 柔性接触测量,
液体轻敲 / AC 模式
0.1 30
qp-SCONT
YES 柔性接触模式,
生物应用 / 柔性接触测量,
横向/摩擦力显微镜,
液体轻敲 / AC 模式
0.01 11
非接触 qp-BioT
2 悬臂梁
YES 生物应用 / 柔性接触测量,
液体轻敲/ AC 模式
CB1: 0.3
CB2: 0.08
CB1: 50
CB2: 20
qp-BioAC
3 悬臂梁
YES 生物应用 / 柔性接触测量,
液体轻敲 / AC 模式
CB1: 0.3
CB2: 0.1
CB3: 0.06
CB1: 90
CB2: 50
CB3: 30
qp-BioAC-CI
3 悬臂梁
YES 活细胞成像的特殊探针形状
生物应用 / 柔性接触测量,
液体轻敲 / AC 模式
CB1: 0.3
CB2: 0.1
CB3: 0.06
CB1: 90
CB2: 50
CB3: 30
特殊 qp-fast
3 悬臂梁
YES 快速 / 高速度扫描,
标准轻敲 / 非接触 / AC 模式,
柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式
CB1: 80
CB2: 30
CB3: 15
CB1: 800
CB2: 420
CB3: 250
qp-HBC
YES Scan Asyst®* Peak Force Tapping® 0.5 60

硅化铂 SPM探针

硅化铂 SPM探针
硅化铂 SPM探针
  • 有出色的导电性和良好的磨损性能的硅化铂探针;
  • 典型探针半径25nm;
  • 硅支架芯片背面的对准槽。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 PtSi-CONT
YES 静电力调制显微镜/电气测量,
使用寿命长/硬化AC AFM探针
0.2 13
非接触 PtSi-NCH
YES 静电力调制显微镜/电气测量,
使用寿命长/硬化AC AFM探针
42 330
特殊 PtSi-FM
YES 静电力调制显微镜/电气测量,
使用寿命长/硬化AC AFM探针
2.8 75

AdvancedTEC™

AdvancedTEC™
AdvancedTEC™
  • 单片硅-AFM-探针,用于超高分辨率成像;
  • 适合所有知名的AFM探针;
  • 高掺杂单晶硅(0.01-0.025Ohm*cm);
  • 长方形横截面的矩形悬臂梁;
  • 支架尺寸为1.6mm x 3.4mm;
  • 从顶部往下看的证实探针能见度;
  • 探针高度为15-20µm;
  • 典型探针曲率半径为 < 10nm;
  • 探针最后1.5µm的深宽比> 4:1(从正面和侧面);
  • 探针形状由真实的晶面定义,从而产生高度可复制的几何形状和极其光滑的表面;
  • 也可提供金或铂铱涂层。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 ATEC-CONT
YES 接触模式 0.2 15
ATEC-CONTAu
YES 生物应用 / 柔性接触测量,
静电力调制显微镜/电气测量
0.2 15
ATEC-CONTPt
YES 静电力调制显微镜/电气测量 0.2 15
非接触 ATEC-NC
YES 轻敲 / 非接触 / AC 模式 45 335
ATEC-NCAu
YES 生物应用,
静电力调制显微镜/电气测量
45 335
ATEC-NCPt
YES 静电力调制显微镜/电气测量 45 335
特殊 ATEC-FM
YES 力调制模式 2.8 85
ATEC-FMAu
YES 静电力调制显微镜/电气测量,
生物应用
2.8 85
ATEC-EFM
YES 静电力调制显微镜/电气测量 2.8 85

PointProbe® 系列测试

PointProbe® Plus
PointProbe® Plus
  • 单片硅AFM探针,用于超高分辨率成像;
  • 适合所有知名的AFM探针;
  • 高掺杂单晶硅(0.01-0.025Ohm*cm);
  • 长方形横截面的矩形悬臂梁;
  • 支架尺寸为1.6mm x 3.4mm;
  • 探针半径通常优于7nm;
  • 改善的一致性和分辨率;
  • 探针形状变化最小。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 PPP-CONT
YES 接触模式 0.2 13
PPP-CONTR
YES 接触模式 0.2 13
PPP-CONTSC
YES 接触模式
(短悬臂梁)
0.2 25
PPP-CONTSCR
YES 接触模式
(短悬臂梁)
0.2 25
PPP-XYCONTR
YES 接触模式
与XY-对准兼容
0.2 13
PPP-ZEILR
YES 接触模式
(用于Seiko或Zeiss Veritect产品)
1.6 27
非接触 PPP-NCH
YES 非接触/AC/轻敲模式,
真空AFM探针
42 330
PPP-NCHR
YES 非接触/AC/轻敲模式,
真空AFM探针
42 330
PPP-NCL
YES 非接触/AC/轻敲模式,
真空AFM探针
(长悬臂梁)
48 190
PPP-NCLR
YES 非接触/AC/轻敲模式,
真空AFM探针
(长悬臂梁)
48 190
PPP-NCST
YES 柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式 7.4 160
PPP-NCSTR
YES 柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式 7.4 160
PPP-QNCHR
YES 非接触 /AC/轻敲模式,
真空AFM探针
(高频、高品质因数)
42 330
PPP-SEIHR
YES 柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式
(用于Seiko或Zeiss Veritect产品)
15 130
PPP-XYNCHR
YES 非接触 /AC/轻敲模式,
真空AFM探针
与XY-对准兼容
42 330
PPP-XYNCSTR
YES 柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式,
与XY-对准兼容
7.4 160
特殊 PPP-FM
YES 力调制模式,
柔性轻敲 / 非接触 / AC模式,
真空AFM探针
2.8 75
PPP-FMR
YES 力调制模式,
柔性轻敲 / 非接触 / AC模式,
真空AFM探针
2.8 75
PPP-LFMR
YES 接触模式 ,
横向/摩擦力显微镜 (LFM)
0.2 23
PPP-QFMR
YES 力调制模式,
真空AFM探针
(高品质因数)
2.8 75
XY-对准的PointProbe&reg; Plus
XY-对准的PointProbe® Plus
  • 与对准芯片一起使用时,可以更换三种不同悬臂长度的探针(例如PPP-NCHR; PPP-XYCONTR和PPP-FMR)而无需重新调整光束偏转激光器;
  • 单片硅AFM探针,用于超高分辨率成像;
  • 适合所有的知名AFM探针;
  • 高掺杂单晶硅(0.01-0.025Ohm*cm);
  • 长方形横截面的矩形悬臂梁;
  • 探针半径通常优于7nm;
  • 改善的一致性和分辨率;
  • 探针形状变化最小。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 PPP-CONTSC
YES 接触模式
(短悬臂梁)
0.2 25
PPP-CONTSCR
YES 接触模式
(短悬臂梁)
0.2 25
PPP-CONTSCAuD
YES 接触模式,
生物用于 / 柔性接触测量
(短悬臂梁)
0.2 25
PPP-XYCONTR
YES 接触模式,
与XY-对准兼容
0.2 13
非接触 PPP-NCL
YES 非接触/AC/轻敲模式,
真空AFM探针
(长悬臂梁)
48 190
PPP-NCLR
YES 非接触/AC/轻敲模式,
真空AFM探针
(长悬臂梁)
48 190
PPP-NCLAuD
YES 非接触/AC/轻敲模式,
生物用于 / 柔性接触测量,
(长悬臂梁)
48 190
PPP-SEIHR
YES 柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式
(用于Seiko或Zeiss Veritect产品)
15 130
PPP-XYNCHR
YES 非接触/AC/轻敲模式,
真空AFM探针,
与XY-对准兼容
42 330
PPP-XYNCSTR
YES 柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式,
与XY-对准兼容
7.4 160
特殊 PPP-FM
YES 力调制模式,
柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式,
真空 AFM 探针
2.8 75
PPP-FMR
YES 力调制模式,
柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式,
真空 AFM 探针
2.8 75
PPP-FMAuD
YES 力调制模式,
柔性轻敲 / 非接触 / AC 模式,
生物用于
2.8 75
PPP-LFMR
YES 接触模式 ,
横向/摩擦力显微镜(LFM)
0.2 23
PPP-QFMR
YES 力调制模式,
真空 AFM 探针
(高品质因数)
2.8 75
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
非接触 SSS-NCL
YES 增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC AFM 探针
(长悬臂梁)
48 190
SSS-NCLR
YES 增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC AFM 探针
(长悬臂梁)
48 190
SSS-SEIH
YES 增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC AFM 探针
(用于Seiko或Zeiss Veritect产品)
15 130
SSS-SEIHR
YES 增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC AFM 探针
(用于Seiko或Zeiss Veritect产品)
15 130
特殊 SSS-FM
YES 增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC AFM 探针 2.8 75
SSS-FMR
YES 增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC AFM 探针 2.8 75
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
非接触 AR5-NCLR
YES 沟槽测量
(长悬臂梁)
48 190
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 PPP-CONTSCAu
YES 生物应用 / 柔性接触测量,
静电力调制显微镜/电气测量
(短悬臂梁)
0.2 25
PPP-CONTSCPt
YES 静电力调制显微镜/电气测量
(短悬臂梁)
0.2 25
非接触 CDT-NCLR
YES 静电力调制显微镜/电气测量
(长悬臂梁)
72 210
DT-NCLR
YES 使用寿命长/硬化AC AFM探针,
纳米压痕
(长悬臂)
72 210
PPP-NCLAu
YES 生物应用,
静电力调制显微镜/电气测量
(长悬臂梁)
48 190
PPP-NCLPt
YES 静电力调制显微镜/电气测量
(长悬臂梁)
48 190
特殊 CDT-FMR
YES 静电力调制显微镜/电气测量 6.2 105
DT-FMR
YES 使用寿命长 / 硬化 AC AFM 探针,
纳米压痕
6.2 105
PPP-FMAu
YES 生物应用,
静电力调制显微镜/电气测量
2.8 75
PPP-EFM
YES 静电力调制显微镜/电气测量 2.8 75
PPP-MFMR
YES 磁性力调制显微镜 2.8 75
PPP-LC-MFMR
YES 磁性力调制显微镜
(低矫顽力)
2.8 75
PPP-LM-MFMR
YES 磁性力调制显微镜
(低力矩)
2.8 75
PPP-QLC-MFMR
YES 磁性力调制显微镜
(低矫顽力,高品质因数)
2.8 75
SSS-MFMR
YES 磁性力调制显微镜
(高分辨率)
2.8 75
SSS-QMFMR
YES 磁性力调制显微镜
(高分辨率,高品质因数)
2.8 75
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
非接触 TL-NCL
YES 无探针悬臂梁用于探针改造
(长悬臂梁)
48 190
特殊 TL-FM
YES 无探针悬臂梁用于探针改造 2.8 75
SuperSharpSilicon™
SuperSharpSilicon™
  • 用于提高微观粗糙度和纳米结构的分辨率;
  • 探针半径通常优于2nm;
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
非接触 SSS-NCH
YES 增强分辨率轻敲/ 非接触 / AC模式
(高频)
42 330
SSS-NCHR
YES 增强分辨率轻敲/ 非接触 / AC模式
(高频)
42 330
SSS-NCL
YES 增强分辨率轻敲/ 非接触 / AC模式
(长悬臂梁)
48 190
SSS-NCLR
YES 增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC 模式
(长悬臂梁)
48 190
SSS-SEIH
YES 增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC 模式
(用于Seiko或Zeiss Veritect产品)
15 130
SSS-SEIHR
YES 增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC 模式
(用于Seiko或Zeiss Veritect产品)
15 130
特殊 SSS-FM
YES 增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC 模式 2.8 75
SSS-FMR
YES 增强分辨率轻敲 / 非接触 / AC 模式 2.8 75
SSS-MFMR
YES 磁性力调制显微镜
(高分辨率)
2.8 75
SSS-QMFMR
YES 磁性力调制显微镜
(高分辨率、高品质因数)
2.8 75
高深宽比探针
高深宽比探针
  • 探针的高宽比部分的长度分别大于1.5µm或2µm;
  • 我们可以提供特殊探针以补偿扫描仪头的倾斜;
  • 探针的半径通常优于10nm。我们保证最小 15nm;
  • 探针总高度为10到15µm,可以对高度波纹的样品进行测量;
  • 整个探针以及传感器的其余部分均由一种单晶硅制成(整体设计),从而实现了较高的横向刚度和刚度。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
非接触 AR10-NCHR
YES 沟槽测量
(高频)
42 330
AR10T-NCHR
YES 沟槽测量
(倾斜补偿、高频)
42 330
AR5-NCH
YES 沟槽测量
(高频)
42 330
AR5-NCHR
YES 沟槽测量
(高频)
42 330
AR5-NCLR
YES 沟槽测量
(长悬臂梁)
48 190
AR5T-NCHR
YES 沟槽测量
(倾斜补偿、高频)
42 330
旋转探针
旋转探针
  • 常规数据类似于PointProbe® Plus;
  • 探针沿悬臂梁相对于中心轴旋转180°。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 PPP-RT-CONTR
YES 接触模式 0.2 13
非接触 PPP-RT-NCHR
YES 轻敲 / 非接触 / AC 模式
(高频)
42 330
特殊 PPP-RT-FMR
YES 力调制模式 2.8 75
无探针悬臂梁
无探针悬臂梁
  • 无探针;
  • 高度掺杂以消除静电荷;
  • 化学惰性;
  • 高机械Q因数可实现高灵敏度。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 TL-CONT
YES 无探针悬臂梁用于探针改造 0.2 13
非接触 TL-NCH
YES 无探针悬臂梁用于探针改造
(高频)
42 330
TL-NCL
YES 无探针悬臂梁用于探针改造
(长悬臂梁)
48 190
特殊 TL-FM
YES 无探针悬臂梁用于探针改造 2.8 75

圆台形探针

圆台形探针
圆台形探针
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]

带涂层AFM探针

金涂层
金涂层
  • 悬臂梁的探测器侧有70nm厚的金涂层;
  • 悬臂两侧的金涂层厚度均为70nm;
  • 探针的金属导电性;
  • 探测器侧面涂层可增强激光束的反射率。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 ATEC-CONTAu
YES 生物应用 / 柔性接触测量,
静电力调制显微镜/电气测量

0.2 15
非接触 ATEC-NCAu
YES 生物应用,
静电力调制显微镜/电气测量
45 335
特殊 ATEC-FMAu
YES 静电力调制显微镜/电气测量,
生物应用
2.8 85
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 PPP-CONTAu
YES 接触模式,
生物应用/ 柔性接触测量,
静电力调制显微镜/电气测量
0.2 13
PPP-CONTAuD
YES 接触模式,
生物应用 / 柔性接触测量
0.2 13
PPP-CONTSCAu
YES 接触模式,
生物应用/ 柔性接触测量,
静电力调制显微镜/电气测量
(短悬臂梁)
0.2 25
PPP-CONTSCAuD
YES 接触模式,
生物应用 / 柔性接触测量
(短悬臂梁)
0.2 25
非接触 PPP-NCHAu
YES 生物应用,
静电力调制显微镜/电气测量
(高频)
42 330
PPP-NCHAuD
YES 轻敲/ 非接触 / AC 模式,
生物应用
(高频)
42 330
PPP-NCLAu
YES 生物应用,
静电力调制显微镜/电气测量
(长悬臂梁)
48 190
PPP-NCLAuD
YES 轻敲 / 非接触 / AC 模式,
生物应用
(长悬臂梁)
48 190
PPP-NCSTAu
YES 生物应用,
静电力调制显微镜/电气测量
7.4 160
PPP-NCSTAuD
YES 柔性轻敲 / 非接触 / AC模式,
生物应用
7.4 160
特殊 PPP-FMAu
YES 生物应用,
静电力调制显微镜/电气测量
2.8 75
PPP-FMAuD
YES 力调制模式,
生物应用
2.8 75
金刚石涂层
金刚石涂层
  • 探针侧有100 nm厚的多晶金刚石涂层;
  • 探针侧200纳米厚的多晶金刚石涂层;
  • 探针无与伦比的硬度。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 CDT-CONTR
YES 静电力调制显微镜/电气测量 0.5 20
DT-CONTR
YES 使用寿命长 / 硬化AC AFM 探针,
纳米压痕
0.5 20
非接触 CDT-NCHR
YES 静电力调制显微镜/电气测量
(高频)
80 400
DT-NCHR
YES 使用寿命长 / 硬化AC AFM 探针,
纳米压痕
(高频)
80 400
CDT-NCLR
YES 静电力调制显微镜/电气测量
(长悬臂梁)
72 210
DT-NCLR
YES 使用寿命长/ 硬化 AC AFM探针,
纳米压痕
(长悬臂梁)
72 210
特殊 CDT-FMR
YES 静电力调制显微镜/电气测量 6.2 105
DT-FMR
YES 使用寿命长/ 硬化 AC AFM探针,
纳米压痕
6.2 105
铂铱涂层
铂铱涂层
  • 25nm厚的铬和铂铱层;
  • 悬臂梁两侧的涂层;
  • 允许进行电气测量;
  • 探测器侧面涂层可将激光束的反射率提高2倍;
  • 应力补偿且耐磨。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 ATEC-CONTPt
YES 静电力调制显微镜/电气测量 0.2 15
非接触 ATEC-NCPt
YES 静电力调制显微镜/电气测量 45 335
特殊 ATEC-EFM
YES 静电力调制显微镜/电气测量 2.8 85
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 PPP-CONTPt
YES 静电力调制显微镜/电气测量 0.2 13
PPP-CONTSCPt
YES 静电力调制显微镜/电气测量
(短悬臂梁)
0.2 25
非接触 PPP-NCHPt
YES 静电力调制显微镜/电气测量
(高频)
42 330
PPP-NCLPt
YES 静电力调制显微镜/电气测量
(长悬臂梁)
48 190
PPP-NCSTPt
YES 静电力调制显微镜/电气测量 7.4 160
特殊 PPP-EFM
YES 静电力调制显微镜/电气测量 2.8 75
磁性涂层
磁性涂层
  • 探针侧的硬磁性涂层(矫顽力在0.75和300Oe之间,剩磁在80和300emu /cm³之间);
  • 2.5至13emu之间的有效磁矩;
  • 金属导电率;
  • 保证最低的探针曲率半径,低至<15nm;
  • 最高的磁分辨率优于25nm;
  • 悬臂梁的检测器一侧的铝涂层将激光束的反射率提高了约2.5倍。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
特殊 PPP-MFMR
YES 磁力显微镜 2.8 75
PPP-LC-MFMR
YES 磁力显微镜
(低矫顽力)
2.8 75
PPP-LM-MFMR
YES 磁力显微镜
(低力矩)
2.8 75
PPP-QLC-MFMR
YES 磁力显微镜
(低矫顽力、高品质因数)
2.8 75
SSS-MFMR
YES 磁力显微镜
(高分辨率)
2.8 75
SSS-QMFMR
YES 磁力显微镜
(高分辨率、高品质因数)
2.8 75

自感应-自激励

自感应-自激励
自感应-自激励

Akiyama探针基于石英音叉和微机械悬臂相结合。这种新颖的探针的最大优点是,使用一根探针,既可以受益于音叉的极其稳定的振荡,又可以受益于硅悬臂的合理弹簧常数。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
特殊 Akiyama-Probe
YES 自我感应+自我激励 5 45

特别开发的产品列表

特别开发的产品列表
特别开发的产品列表

我们特别开发的产品例子有:

  • 定制直径的圆台形探针;
  • 圆形探针;
  • 球形探针;
  • 在各种探针类型上具有不同厚度的铂铱或金涂层;
  • 背面金和探针侧面的氮化物涂层。
类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]
接触模式 特殊研发的产品列表 - Special Developments List
NO

计量标准

计量标准
计量标准

NANOSENSORS™ 与欧洲国家计量研究所(NMI)合作开发了一套SPM应用程序的物理传输标准。这些标准允许对SPM设备的X,Y和Z轴进行校准。另外,可以揭示和补偿某些系统引起的设备限制。

间距为200 nm的二维标准类型: 2D200 
德国物理技术联合会(PTB),英国国家物理实验室(NPL)和丹麦基础计量研究所(DFM)不仅参与了产品定义阶段。他们的主要任务是开发用于校准传输标准的测量技术。这些机构确保可追溯到国家标准。通过欧洲国家计量学会协会(EUROMET)和国际度量衡局的条约(Metre Convention),可以追溯到其他全球计量标准。

类型 反射涂层 应用 力常数
[N/m]
共振
频率
[kHz]