AR5-NCLR

High Aspect Ratio (> 5:1) - Non-Contact/Tapping Mode - Long Cantilever - Reflex Coating 

NANOSENSORS™ AR5-NCLR AFM探针是专为用于非接触式或轻敲式AFM而设计的。 NCL探针设计用于要求最小悬臂梁长度> 125µm或谐振频率小于400kHz的SPM系统。与高频非接触式NCH相比,最大扫描速度略有降低。这种悬臂梁型具有很高的操作稳定性,出色的灵敏度和快速的扫描能力。

为了测量侧壁角接近90°的样品,NANOSENSORS™可提供专门定制的探针。这些探针经过FIB(聚焦离子束)铣削,以在普通硅探针的末端获得优于5: 1的高深宽比。这种生产高深宽比的针的相减方法具有高横向刚度和探针刚度的优点。

此探针具有独特功能:

  • 探针的高深宽比部分的长度> 2µm
  • 2µm的深宽比通常为7:1(从侧面以及沿悬臂梁轴方向观察时)
  • 高深宽比部分的2µm处的半锥角通常<5°
  • 保证探针的曲率半径<15nm
  • 高掺杂硅以消除静电荷
  • 高机械Q-因数可实现高灵敏度
  • 硅支架芯片背面的对准槽
  • 对准芯片一起使用时,悬臂梁两边位置的精确对准(+/-2µm以内)
  • PointProbe® Plus XY-对准系列兼容
如何优化AFM扫描参数: list-img
悬臂梁数据:
属性 标称值 特定的范围
共振频率 [kHz] 190 146 - 236
力常数 [N / m] 48 21 - 98
长度 [µm] 225 215 - 235
平均宽度 [µm] 38 30 - 45
厚度 [µm] 7 6 - 8
订单代码和运输单位:
订购代码 每包AFM探针的数量 数据表
AR5-NCLR-10 10 of all probes
AR5-NCLR-20 20 of all probes
AR5-NCLR-50 50
AR5-NCLR-W 370
NANOSENSORS™ 高深宽比探针