ATEC-EFM

Advanced Tip at the End of the Cantilever™ Force Modulation Mode, Pt/Ir coated

NANOSENSORS AdvancedTEC™ EFM AFM探针是专门为了用于力调制模式成像而设计的。它们的特征是从悬臂梁末端伸出的四面体探针。这种独特的功能可实现精确定位,并使AdvancedTEC™成为世界上唯一从顶部即可提供从顶部的真实探针能见度的AFM扫描探针,即使此探针由于其安装在AFM头上而倾斜时也是如此。此功能使它们成为所有必须将探针精确放置在关注点上和/或必须可见的应用的最佳选择(例如,纳米操作)。

由于其极小的半锥角,AdvancedTEC™系列的探针在具有小图案尺寸和陡峭样品特征的样品上显示出出色的性能。

此探针具有独特的功能:

  • 从顶部真正的探针能见度
  • 探针的金属导电性
  • 曲率半径优于20nm
  • 探针的高度为15-20µm
  • 高机械Q-因数可实现高灵敏度

铂铱5涂层是在悬臂梁两侧的约25nm厚的铬和铂铱5双层。探针侧面涂层增强了探针的导电性并允许电接触。检测器侧面涂层将激光束的反射率提高了约2倍,并防止了光在悬臂梁内的干涉。涂层工艺针对应力补偿和耐磨性进行了优化。由于应力导致的悬臂梁弯曲小于悬臂梁长度的3.5%。

请注意:如果在接触、摩擦或力调制模式下运行或需要传导大电流的地方,可能会出现探针磨损。

如何优化AFM扫描参数: list-img
悬臂梁数据:
属性 标称值 特定的范围
共振频率 [kHz] 85 50 - 130
力常数 [N / m] 2.8 0.7 - 9
长度 [µm] 240 230 - 250
平均宽度 [µm] 35 30 - 40
厚度 [µm] 3 2 - 4
订单代码和运输单位:
订购代码 每包AFM探针的数量
ATEC-EFM-10 10
ATEC-EFM-20 20
ATEC-EFM-50 50
NANOSENSORS™ AdvancedTEC™ AFM探针