AR5T-NCHR

High Aspect Ratio (> 5:1, Tilted 13°) - Non-Contact / Tapping Mode - High Resonance Frequency - Reflex Coating 


NANOSENSORS™ AR5T-NCHR传感器设计用于非接触模式或轻敲模式AFM(也称为:吸引模式或动态模式)。这种传感器类型兼具高操作稳定性,出色的灵敏度和快速的扫描能力。

为了测量侧壁角接近90°的样品,NANOSENSORS™可提供专门定制的探针。这些探针经过FIB(聚焦离子束)铣削,达到在普通硅探针的末端的高深宽比。这种生产高深宽比的针的相减方法具有高横向刚度和探针刚度的优点。

AR5T型上,探针的最后2µm与悬臂梁的中心轴倾斜13°。通过此功能,可以补偿由AFM头的安装引起的悬臂的倾斜角度(通常为13°)。现在,可以测量几乎垂直的侧壁,从而提供对称扫描。

此探针具有独特功能:

  • 探针的高深宽比部分的长度> 2µm 保证探针的曲率半径
  • 2µm处的深宽比通常为7:1(从侧面以及沿悬臂轴方向观察时)
  • 探针的高深宽比部分倾斜13°到悬臂的中心轴;
  • 高深宽比部分的2µm处的半锥角通常<5°
  • 保证探针的曲率半径<15nm
  • 高掺杂硅以消除静电荷
  • 高机械Q-因数可实现高灵敏度


反射涂层是在悬臂梁的检测器侧的30nm厚的铝涂层,可将激光束的反射率提高约2.5倍。此外,它防止了光在悬臂梁内部的干涉。几乎没有应力的涂层使悬臂梁弯曲不到悬臂长度的2%。

如何优化AFM扫描参数: list-img
悬臂梁数据:
属性 标称值 特定的范围
共振频率 [kHz] 330 204 - 497
力常数 [N / m] 42 10 - 130
长度 [µm] 125 115 - 135
平均宽度 [µm] 30 22.5 - 37.5
厚度 [µm] 4 3 - 5
订单代码和运输单位:
订购代码 每包AFM探针的数量 数据表
AR5T-NCHR-10 10 of all probes
AR5T-NCHR-20 20 of all probes
AR5T-NCHR-50 50
AR5T-NCHR-W 370
NANOSENSORS™ High Aspect Ratio Silicon AFM probes