Conductive Diamond Coated Tip - Force Modulation Mode - Reflex Coating
NANOSENSORS™ CDT-FMR探针式专门为了用于力调制显微镜而设计的。这种探针类型的力常数跨越了接触和非接触模式之间的间隙,并专门针对力调制模式进行了量身定制。FM传感器还用作磁性涂层 (MFM) 的基础。此外,FM探针可以进行非接触或轻敲模式操作,但操作稳定性降低。
对于需要耐磨和导电探针的应用,我们建议使用这种类型。一些应用是隧道AFM和扫描电容显微镜(SCM)。 CDT金刚石涂层高度掺杂,与铂表面接触时测得的总电阻<10kOhm。
宏观探针曲率半径通常在100至200nm之间。10nm制程中的纳米粗糙度可改善在平坦表面上的分辨率。
此探针具有独特的功能:
- 真正的金刚石涂层,高掺杂
- 探针高度为10-15µm
- 高机械Q-因数可实现高灵敏度
- 硅支架芯片背面的对准槽
- 与对准芯片一起使用时,悬臂梁位置的精确对准(+/-2µm以内)
- 与PointProbe® Plus XY-对准系列兼容
反射涂层是在悬臂梁的检测器侧大约30nm厚的铝涂层,可将激光束的反射率提高约2.5倍。此外,它防止了光在悬臂内干涉。几乎没有应力的涂层使悬臂梁弯曲不到悬臂梁长度的3.5%。